第371章 光刻胶一代样品!杰出的洁净度数据!

3个月前 作者: 带带葫芦侠
    最新网址:.biquluo时间眨眼而逝。


    转眼。


    时间来到五月底。


    《数学年刊》上半年最后一刊,正式发布!


    那篇名为utomorphicfunctorfinal》的论文,直接登陆年刊封面,而且关于林氏函子的重要构造,还专门做了一个大大的特写!


    只在发布内的24小时期间内。


    关于本篇论文的摘要浏览,便突破了5000余次。


    pdf下载,也是来到了近2000次,远超同时发布的其它两篇论文!


    甚至因为林氏函子的出现。


    将原本顶级研究院垄断l自守函数研究话语权打破。


    于是世界各地,许多数学厉害的高等院校,都罕见出现了l自守函数研究热!


    新的时代开启,他们也想在这块版图上,留下属于自己的印记!


    .........


    不过。


    虽然外界天翻地覆,但这段时间以来,林决却并未过度关注此事的。


    因为在光机所新材料组内部。


    笼促配位团簇方案制造的光刻胶,在各方努力之下,第一阶段的研发,已经快结束了。


    这种效率,如果拿出去,只能用恐怖二字形容!


    因为如果换做其他人,如果要用新的方法研发。


    只能慢慢用传统的烧,试,测,改四步法,用海量的实验,来堆数据进行。


    这种传统工艺,不仅费时费力,而且很多时候,会让科研者陷入迷茫。


    因为大家都不知道,你所走的路到底是否正确。


    但林决的笼促配位团簇光刻胶制造流程不同。


    它有着严丝合缝的工艺流程,并且在林决监督下,让原本那些模糊的界限,瞬间变得清晰起来。


    在一项科研中......


    如果概率可控,模型完整,参数定量锁定......


    那么时间几乎能够压缩到一种令人发指的程度!!!


    再加上这个项目是国家重点支持,有这个工业克苏鲁的支持,几乎所有配套设施,当天晚上报上去,第二天早上相关设备材料就能送到所里!


    如此情况下。


    这周周二早上。


    新材料组研发实验室。


    第一号通过笼促配位的试样光刻胶,成功出机!


    此时。


    除了新项目组众人外,黄作平,陈望山,蒋墨,谷方绪,以及光刻机其他钻核心专家组的人,也都是来到实验室观看。


    紧接着。


    在众人的注视下,林决上前将它用工具拿起,放到一个容器皿中封上。


    林决仔细看了看。


    发现这个初代光刻胶材料质地均匀,没有一丝絮状沉淀。


    他轻轻晃动容器皿,然后便见的光刻胶开始跟着晃动。


    “袁教授,测试一下看看呢......”


    说着,林决将东西递给袁泽成。


    “行。”


    袁泽成点了点头。


    因为知道今天第一款样机出来,所以项目组早就让人备好了测试流程。


    “小张,上流式图像颗粒分析仪!”


    “收到!”


    测试小组众人动了起来,将颗粒分析仪校准到初始数值。


    这个阶段,主要是测试光刻胶材料的洁净度,看有多少0.1微米以上的固体颗粒。


    国际量产euv光刻胶指标目前是,每10毫升中,标准颗粒小于等于1个。


    而在这之前。


    谷方绪带领团队研发的光刻胶。


    能够达到极限的数据是,每10ml中有8个大于0.1微米颗粒......


    下一刻。


    众人便见操作人员又取了新的样品,将其装入密封舱,然后又用微量精密柱塞泵匀速推送胶液,让液体以稳定薄层流过透明的检视视窗。


    紧接着,便是高速同步光源频闪。


    通过搭配高倍率显微镜,高速cmos相机,让每一层薄层,都单独抓拍一张图片。


    这是最重要的一步,结果能够看到发现光刻胶中的分凝胶团和杂质!


    在众人注视下。


    分析仪开始嗡鸣起来。


    虽然众人只能看到相机频闪在不断熄灭点亮,但心却还是提了起来!


    约莫两分钟后。


    仪器预热准备完毕。


    在实验室中心的电脑上。


    关于本次测试的结果,开始逐渐显现!


    一时间,众人都屏住了呼吸!


    紧接着,第一层采集的结果出现!!!


    【取样体积:10ml】


    【统计粒径阈值:≥0.1μm】


    【检测数量:1】


    “轰!!!”


    当看到这个结果后。


    新项目组,以及谷方绪所带领的老材料组众人,都是愣在当场!!!


    卧槽!?


    这么夸张?


    10ml中只有一个大于1μm的颗粒!?


    袁泽成手轻轻扶额,嘴角的笑容难以压制。


    万成则是瞠目转身,给了林决一个大拇指。


    哥们儿牛逼!!!


    就算有了预期,但这个过程一下出现在眼前的时候,他们还是忍不住感到兴奋激动!


    然而......


    还不等他们高兴片刻。


    紧接着。


    又是一组组数据出现!!!


    【取样体积:10ml】


    【统计粒径阈值:≥0.1μm】


    【检测数量:0】


    ......


    【检测数量:0】


    ......


    【检测数量:2】


    ......


    【检测数量:1】


    ......


    【检测数量:1】


    ......


    一组又一组分析结果出来。


    当看到近测试了二十组测试数据后。


    谷方绪,袁泽成,万成这些材料学大佬们头皮发麻,有些不敢相信是真的!


    要知道......


    这才是研发组的第一次样品啊!


    在液体洁净度上,洁净度就能达到国内材料界从未达到的高度!


    夸张,实在夸张!


    “我还以为,咱们的光刻胶液体洁净度,还得再用几年,才能跑到如此程度呢。”


    袁泽成轻轻笑了出来。


    万成激动之下,连头儿也不叫了,当即直呼大名,


    “确实哈哈哈,林决!你他娘真是个人才!”


    林决嘴角微抽,“算了,我就当你是在夸我吧。”


    万成:“......”


    根据他在全知状态下的推演。


    笼促配位方案,最好解决的,确实就是材料洁净度了。


    所以有这个结果他完全不意外。


    见状。


    黄作平也是开心得不行。


    进步有望,进步又有望了啊!


    陈望山和蒋墨几人对视一眼,满脸笑意,微微点头。


    看样子,离最终目标又走近一步!


    接着,林决微微呼出一口气,


    “大家先别急着高兴,我们只是开了个好头而已,还有粘度,感光性能,线边缘粗糙度,热稳定性要逐个测试呢.......”
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