第71章 光学镜组

    第71章光学镜组


    星辰光刻光学实验室，无尘车间的灯光白得刺眼。


    陈院士戴着白色防尘帽，手里的数据报告翻了一页，眉头拧成了疙瘩。


    “三号镜的粗糙度，又卡在0.32纳米了。“他把报告拍在桌上，“就差0.02，死活下不去。“


    周围几个材料所的研究员，你看我我看你，谁也没敢接话。


    “陈院士，“一个年轻研究员小声说，“要不……先按0.32验收？0.3纳米的目标，差这0.02，国际上也不是完全不能……“


    “不行！“陈院士直接打断他，“0.5纳米的芯片制程，光学镜组的粗糙度必须压到0.3纳米以下。差0.02，良率就得掉一个档次。这是国产euv的脊梁骨，宁可慢，不能糊弄！“


    实验室里，气氛有些凝重。


    苏宇推门进来时，看到的正是这一幕。


    “卡在镀膜工艺上了？“他问。


    陈院士抬头，摘下眼镜揉了揉眼：“不是镀膜，是抛光。极紫外光用的反射镜，跟普通光学镜不一样——要在基底上镀一百多层钼硅薄膜，每一层的厚度都要精确到原子级。镀膜工艺咱们三个月前就攻下来了，难的是最后的抛光。“


    “镜面粗糙度要做到0.3纳米以下，每往下压一纳米，难度都是指数级往上翻。材料所的老教授们，为这一道工序熬了不知多少个通宵，好不容易把核心工艺啃下来了——“


    “但是？“


    “但是验收设备。“陈院士苦笑，“高精度的干涉仪，全球只有漂亮国艾戈系统公司能产。咱们从下单到验收，全流程都得过他们的手。“


    他顿了顿，声音沉了下来：“苏总，就在刚才，艾戈那边发来通知——受漂亮国商务部管制令影响，三台纳米级干涉仪的出口许可，被无限期冻结了。“


    实验室里，一片死寂。


    “检测设备被卡了？“


    “没有干涉仪，镜面粗糙度拿什么验？这不是等于造了个东西，没尺子量吗？“


    “艾戈的干涉仪……这是掐准了节点来的啊。“


    几个工程师低声议论，脸色都不太好看。


    苏宇的眼底，掠过一丝冷光。


    “好一个芯片联盟。“他轻声说，“前脚在大会被我掀了桌子，后脚就把刀架到检测设备上了。“


    “苏总，“陈院士叹了口气，“没有干涉仪，镜组的数据就立不住。就算我们自己觉得没问题，国际上也不认这个数。芯片联盟这步棋，是要把咱们的光学系统，堵死在实验室里。“


    “更何况——“他压低声音，“光刻机的反射镜，加工到0.3纳米是第一步。后面还要做表面原子级修复、多层膜应力控制。每一步，都离不开高精度的检测手段。艾戈一断供，整个光学系统的后续工序，全得趴窝。“


    苏宇没有接话。


    他闭上眼睛，意识沉入脑海。


    “系统。“


    “叮！宿主权限：2.5级。当前可检索图纸库范围：高级未来科技图纸库、量子芯片全套技术图纸、euv光刻机全套技术图纸。“


    “检索——纳米级镜面检测方案。“


    图纸库里，海量数据如瀑布般滚落。


    光刻机的检测技术，从来不止干涉仪一条路。


    量子测量、散射光检测、原子力显微……无数条技术路径，在苏宇的意识里铺开。


    最后，他停在了一页图纸前。


    “叮！检索完成——【量子干涉测量方案】。基于量子纠缠态的纳米级无接触测量，精度可达0.05纳米，为传统干涉仪精度的六倍。判定：当前图纸库可完整实现，需量子芯片级精密控制单元配合。“


    苏宇猛地睁开了眼。


    “陈院士，“他说，“干涉仪的事，我来解决。“


    “苏总？“


    “漂亮国不卖尺子，咱们就造一把——比他们更好的尺子。“


    他转身往外走，边走边掏出手机：“我马上联系楚冰。她那边有量子芯片的产线，正好能造这方案里最核心的控制单元。“


    “量子测量？！“陈院士一愣，追上来两步，“苏总，你是说……用量子纠缠来做镜面检测？“


    “对。“苏宇停下脚步，回头看他，“镜面粗糙度0.3纳米，传统干涉仪的光学分辨率已经摸到天花板。可量子纠缠态没有这个限制——精度上，我们直接比艾戈高一个量级。“


    “这……“陈院士眼睛亮了，“这理论，我们材料所里也有老教授讨论过！只是谁也没想到能落地！苏总，你手里真有这套方案？“


    “图纸在我脑子里。“苏宇笑了笑，“今晚，我出图。明天一早，楚冰带人过来对接。“


    当晚，星辰光刻会议室，灯火通明。


    苏宇把系统图纸里【量子干涉测量方案】的关键参数，一条条誊到白板上。楚冰坐在他旁边，一双美目扫过那些密密麻麻的数据，越看越心惊。


    “这个方案，“她抬起头，声音里带着一丝难以置信，“控制单元要用到量子芯片的纠缠态保持电路——理论上，咱们冰芯二号刚刚流片成功的芯片，正好够用。“


    “所以我说，这是天时地利。“苏宇在白板上画下一个框架图，“测量头做无接触悬置，靠量子纠缠态传递干涉信号。镜面反射回来的每一组光子数据，都在纠缠态里做过比对——粗糙度差多少，0.05纳米的精度，看得清清楚楚。“


    “苏总，“楚冰忽然盯着他，“你老实说，这套方案，你是从哪儿来的？“


    苏宇手里的笔微微一顿。


    “跟光刻机的图纸一样。“他抬起头，目光坦荡，“一个只有我能看见的宝库。“


    楚冰看了他三秒，忽然轻轻笑了：“行，我不追问。反正——你的秘密越多，我越放心。“


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    “我的男人，藏的东西越多，底牌越厚。“


    苏宇心头一暖。他刚想说什么，门口传来一声爽朗的笑。


    “苏总，你这会议室，藏的东西可不少啊。“


    何院士穿着一件半旧的工装，手里拎着个工具箱，笑呵呵地走了进来。他是被苏宇连夜请来的。


    “何老，您来了。“苏宇迎上去，“坐，正说到关键处。“


    “不用坐，先看方案。“何院士把工具箱往桌上一放，凑到白板前，眯着眼看了半天，“量子干涉测量……有意思。控制单元用冰芯的量子芯片，测量头做成悬置式……路子是对的。“


    “但苏总，“他直起腰，目光锐利，“这套方案有个硬门槛——测量基准的稳定性。温度、振动、气流，任何扰动都会破坏纠缠态。量子测量头的精度再高，脚下不稳，数据全是废的。“


    “咱们需要一套足够稳的基准台。“苏宇说。


    何院士笑了。


    他从工具箱里抽出一叠泛黄的图纸，摊在桌上。


    “基准台？“他拍了拍那叠纸，“苏总，你忘了？二十年前那套封存的基准台方案——就是为了这种极限测量准备的。“


    会议室里，几个人同时一愣。


    “二十年前的方案？“楚冰问。


    “对。“何院士的眼里，浮起一丝感慨，“当年咱们国家搞光刻机预研，我带团队设计过一套超高精度的测量基准台。结构、材料、隔振方案，全是我带着一帮学生一点点抠出来的。精度理论上能做到0.01纳米级——放到现在，也不输漂亮国最顶尖的水平。“


    “那为什么封存了？“苏宇问。


    “没芯片。“何院士叹了口气，“那套基准台，需要极高算力的控制单元实时补偿热漂移。二十年前，咱们没有那个芯片。没有芯片，基准台就是一堆铁疙瘩，精度跑不出来。“


    “可现在——“他看向苏宇，目光灼灼，“你的量子芯片有了，我的基准台图纸也有了。“


    “这叫什么呢？“他哈哈大笑，“天作之合！“


    会议室里，气氛骤然热了起来。


    “何老，“苏宇郑重地伸出手，“这套基准台，能不能在十天内，从图纸变成实物？“


    “十天？“何院士挑眉，“苏总，你这是小瞧我何某人。我的图纸，我的老伙计——国家精密仪器研究院那帮人，三天之内，我把基准台的零件给你车出来。剩下七天，装调校。“


    “好。“苏宇的拳头，轻轻落在桌上，“那就这么说定了。“


    第二天，两线并进。


    何院士带着基准台的图纸回了京城，国家精密仪器研究院连夜排产。


    苏宇这边，则把量子测量方案的核心部分拆给王磊，让他组织软件组开发控制程序。


    三天后，两拨人在星辰光刻新搭建的检测实验室里会师。


    一台通体银白的测量装置立在防震基座上，四周罩着透明的恒温罩。装置的一侧，连接着冰芯二号送来的量子芯片控制单元。


    何院士亲手拧上最后一颗螺丝，直起腰，长长吐出一口气。


    “合体了。“他说，“量子测量头，基准台，控制单元——三大件全部就位。“


    “何老，“苏宇站在他身后，“剩下的，就看这一哆嗦了。“


    “开始吧。“陈院士也到了，他抱着一块刚刚抛光完成的三号镜，小心翼翼放到测量台上，“就验这块——三号镜，目标粗糙度0.3纳米。“


    所有人屏住呼吸。


    何院士按下启动键。


    装置内部，一道幽蓝色的光一闪而过。量子芯片上的指示灯次第亮起，控制屏上的数据流开始滚动。


    三秒。


    五秒。


    十秒。


    “叮！“的一声轻响。


    控制屏上，跳出一行数字——


    “三号镜面粗糙度：0.27纳米。“


    实验室里，安静了整整三秒。


    “0.27！“陈院士的声音一下子拔高，“0.27纳米！比0.3的目标还低了0.03！过了！过了！“


    “成了！“


    “量子测量方案跑通了！“


    “0.05纳米的精度……比艾戈的干涉仪还高一个量级！“


    实验室里，欢呼声几乎要掀翻屋顶。


    陈院士抱着那块银亮的镜片，手都在抖：“三号镜是整组镜片里最难的一块。它过了，后面几块，全都是同一个工艺路线——全都能过！“


    “光学镜组，齐了！“


    苏宇看着那块在灯光下泛着幽蓝光泽的镜片，嘴角微微上扬。


    漂亮国的检测设备封锁，堵得住别人，堵不住他苏宇。


    他伸手，轻轻抚过那台银白色的量子测量装置。


    “艾戈公司，“他轻声说，“你们以为断一台干涉仪，就能卡死我的光学系统？“


    “不好意思。“


    “我连尺子，都是自己造的。“


    “苏总！“王磊的手机忽然响了，他接起来，脸色微变，“光源组那边传来的消息——张工说，光源的量产级迭代，又出问题了。“


    “功率？“


    “连续运行功率，始终卡在五百瓦上不去。“王磊说，“再往上推，锡滴污染就压不住，镜面镀层烧损……恶性循环。“


    苏宇的目光，沉了沉。


    光学这关刚过，光源这关又卡住了。


    “四大模块，光源是最后一个硬骨头。“他轻声说，“王磊，通知光源组——今晚，我过去。“