第一千六百六十七章 光刻胶的国产突围
3个月前 作者： 大猪蹄子爱吸烟
第一千六百六十七章光刻胶的国产突围
“炉温到一百八十，别急着升。”
伊万站在哈尔滨研发中心的炉门旁，手里夹着一块沾满树脂的玻璃片，脸上两天没刮的胡茬扎在灯光下，眼睛盯着记录表，没有去管身后谁在走动。
陈守仁握着秒表。
“第一组胶层已经排气，温度继续上升。”
“继续。”
高桥把一张曲线图推到他面前。
“二百六十度后会起泡。”
“你看过结果？”
“我看过配方。”
“配方不会说话，炉子才会。”
“这一炉用的是松菱原料。”
“你怀疑我的比例？”
高桥把笔搁在桌边。
“我怀疑溶剂。”
方志远从控制台旁抬头。
“二号传感器比三号低了七度，程序已经补偿。”
伊万回头看他。
“别补偿。”
“温度会偏。”
“传感器偏，炉温没偏，程序一补，胶层会提前失水。”
“你确定？”
“你要是不信，等它把晶圆烧黑。”
陈守仁抬手。
“停一秒，先把二号探头换掉。”
“换探头会耽误升温。”
“换探头能知道炉子究竟烧到哪儿。”
伊万把玻璃片贴到灯下。
“你们中国人做材料，胆子小。”
陈守仁把工具箱拉到身边。
“你们苏联人做实验，设备少。”
“设备少，所以每一台都得听话。”
“设备听不听话，取决于谁在操作。”
高桥把手套摘下来，扔到桌上。
“你们要吵出去吵，炉里的片子再撑三十秒就废。”
李山河推门进来，手里带着一只搪瓷缸。
“谁要吵？”
陈守仁转身。
“伊万说高桥配的溶剂会让胶层起泡。”
高桥接话。
“我说他的树脂比例太激进。”
伊万指着炉门。
“这批片子一旦开炉，先看胶层，别看你们的脸。”
彪子跟在李山河身后，抱着两袋面包。
“俺给你们送饭，谁饿了先吃，别把肚子饿坏了拿炉子撒气。”
伊万接过面包，看了看包装。
“里面是什么？”
“列巴。”
“我要二锅头。”
“白天没有。”
“那我不吃。”
李山河把搪瓷缸放到他手边。
“这是热水。”
伊万抬眼。
“你答应过每天一瓶。”
“你昨天喝了两瓶。”
“昨天是昨天。”
“今天你把第一组跑完，晚上给你一瓶。”
伊万指着炉子。
“我要两瓶。”
“合格一瓶，失败半瓶。”
“你把酒当奖励？”
“你把材料当命，我把酒当成本。”
彪子咧嘴。
“二叔，俺咋觉着你俩谈得挺投机。”
李山河看了他一眼。
“你去食堂，把孟老的药膳饮品送给夜班工人。”
“俺也去看芯片。”
“你看不懂。”
“俺看它黑不黑，总能看懂。”
“那你去看黑不黑。”
彪子抱着面包走了，嘴里还在嘀咕。
炉内曲线升到二百四十度，记录笔在纸上划出一条弯线，胶层边缘没有起泡，陈守仁把脸凑近观察窗。
“边缘还在。”
伊万伸手。
“把样片取出来。”
“还没到冷却阶段。”
“取一片。”
高桥用夹具取出样片，放在金属台上，伊万拿起放大镜，刮了一下胶层。
“附着力不够。”
陈守仁接过样片。
“线路没断。”
“冷却后会裂。”
高桥拿起玻璃片折了折。
“裂纹在边缘。”
“那就是溶剂挥发太快。”
“你刚才还说溶剂没问题。”
“我现在改主意了。”
陈守仁把样片递给方志远。
“记录，第一组失败，树脂合格，溶剂比例需要调整。”
伊万看向他。
“你说失败？”
“裂了就是失败。”
“线路还通着。”
“芯片要在设备里跑半年，不是让你拿着样片看半天。”
伊万把玻璃片放下。
“再做。”
“材料只够三组。”
“那就做三组。”
李山河接过记录表。
“材料不够，我已经让宋子文从港岛调一批树脂。”
高桥抬头。
“日本供应商不会发货。”
“没让日本人发。”
“从哪里来？”
“乌法。”
伊万拿过电报纸。
“乌法的军用涂层研究所？”
“谢尔盖耶夫已经把人叫起来了，材料今晚发车。”
“他们没有做过光刻胶。”
“他们做过高温涂层。”
“用途不同。”
“所以才让你们三个一起做。”
陈守仁看着李山河。
“李总，半个月够吗？”
“你要多久？”
“如果材料稳定，三天能出小样，十天能跑封装，半个月能知道能不能量产。”
“那就半个月。”
高桥皱着眉。
“我们每天只睡四个小时。”
“你们每天睡六个小时，剩下时间炉子也不能停。”
伊万抓起记录表。
“我睡三个小时。”
陈守仁抬头。
“没人要求你学牲口。”
“牲口不用做实验。”
“人也不能一直不睡。”
李山河敲了敲桌面。
“每十二小时换班，谁擅自熬夜，第二天停工。”
伊万把表格揉成一团。
“我不接受。”
“那你回北风三号。”
“你赶我？”
“哈尔滨有规矩。”
“规矩会让材料变好吗？”
“规矩能让你活着看到材料变好。”
伊万望着他。
“你和那些官员不一样。”
“少夸我。”
“我没夸你，我在判断。”
“判断完了就去改配方。”
第一周过去，三组材料全部失败。
第一组冷却后裂纹密布，第二组升温时起泡，第三组附着力合格，线路却在二百九十度时断开。
陈守仁把检测报告拍在桌上。
“胶层能撑，线路撑不住，载体材料膨胀系数不匹配。”
高桥接过报告。
“问题回到晶圆底材。”
伊万把一只螺丝拧进反应釜外壳。
“把树脂再改硬，胶层会更脆。”
方志远在黑板上写下几组温度数值。
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“控制程序可以把升温分成六段，降低热冲击。”
“程序能调热，调不了材料。”
“材料能改，程序也得跟上。”
“你们中国人总想把所有问题塞进程序。”
方志远转身看他。
“程序至少不会把同一批材料烧三次。”
伊万抬手把扳手砸在桌面上。
啪！
房间里的人都停了手。
李山河从门口走进来，捡起扳手放回桌上。
“谁砸坏东西，谁赔。”
伊万盯着他。
“他们不懂材料。”
“你也不懂控制程序。”
“我懂炉子。”
“炉子听谁的？”
伊万没有回答。
李山河把三张检测报告摊开。
“你们继续吵，外面的人就会继续等，富士通等着我们缺芯片，东亚化成等着我们回头求他们，山河通信的订单等着交货。”
陈守仁拿起第三组样片。
“我建议换底材。”
高桥摇头。
“现有晶圆不能换，km155的基底尺寸已经定了。”
方志远盯着曲线。
“那就换封装温度，先让芯片避开最高温段。”
伊万拿起一块废片。
“避开高温，材料永远过不了高温测试。”
李山河看向他。
“你有办法？”
“把底材表面做一层过渡膜。”
高桥立即问。
“用什么？”
“军用涂层里的硅氧烷。”
陈守仁皱眉。
“会影响线路刻蚀。”
“先薄涂，再做等离子清洗。”
方志远接话。
“程序增加预热停留，给过渡膜释放时间。”
高桥拿起笔。
“我去改电源曲线。”
陈守仁抱起样片。
“我去重做底材。”
方志远转身打开控制柜。
“我改程序。”
李山河看向伊万。
“你呢？”
“我要一瓶酒。”
“干完活给你。”
“现在要。”
“先干活。”
伊万抄起白大褂披在身上。
“那就两瓶。”
半个月里的第十三天，第四炉从清晨烧到夜里。
炉温升到三某度，记录笔贴着纸面移动，曲线没有乱跳，观察窗里的晶圆边缘保持平整。
陈守仁盯着检测屏。
“线路还在。”
高桥把手搭在电源柜上。
“电流稳定。”
方志远盯着程序界面。
“温度补偿没有介入。”
伊万拿着夹具守在炉门旁。
“继续升温。”
陈守仁抬头。
“三百二十度已经超过测试上限。”
“继续。”
李山河站在记录台边。
“升。”
炉温数字一路跳到三百四十，晶圆表面泛出细白的光，胶层没有起泡，边缘也没有卷曲。
高桥把手里的笔放下。
“可以开炉了。”
伊万摇头。
“再等五分钟。”
“你想把它烧坏？”
“我想知道它能撑多久。”
陈守仁盯着他。
“材料测试要按流程来。”
“流程是人定的。”
“结果也得让人认。”
李山河抬手。
“再等五分钟。”
伊万看了他一眼，回头盯住炉内。
五分钟后，电源切断，炉门拉开，热气冲过走廊，陈守仁用夹具取出晶圆，边缘完整，表面没有裂纹。
方志远把晶圆放进测试座。
灯光亮起，第一组线路导通，第二组线路导通，整片芯片的逻辑信号沿着测试板跑了一圈。
滴，滴，滴。
高桥抓住记录纸。
“数据稳定。”
陈守仁把测试针移到另一组触点。
“再测一遍。”
“已经测了三遍。”
“再测。”
第三遍结果没有变化。
伊万伸手拿过检测表，从头读到尾，抬起头时，眼里的疲倦压不住了。
“这只是小样。”
“可它活着。”
“还要做大样。”
李山河从桌下拎出两瓶二锅头，放到他面前。
“你的酒。”
伊万抱起酒瓶，没有立刻打开。
“配方署名怎么写？”
“中方负责工艺统筹，苏方负责树脂体系，日方负责电源和设备适配。”
“我的名字排第二？”
“你想排第一？”
伊万把瓶盖拧开。
“我排第二。”
高桥伸手拿起另一瓶。
“我也要一杯。”
伊万看向他。
“你会喝？”
“我喝过威士忌。”
“那不算酒。”
陈守仁把搪瓷缸推过去。
“先把这一炉数据写完，晚上再喝。”
伊万接过缸子。
“陈，你像个管教犯人的老头。”
“你像个拆房子的野人。”
方志远在旁边笑出声。
高桥也把嘴角抬了起来。
李山河拿起那片合格晶圆，放进透明盒。
“这批材料命名为山河一号光刻胶，马上做三班连续测试，陈守仁负责量产参数，高桥负责电源和设备改造，方志远负责封装控制程序，伊万负责配方。”
“我要自己的实验间。”
“给你。”
“门要能锁。”
“给你。”
“钥匙只能有两把。”
“你一把，我一把。”
“第三把呢？”
“陈守仁保管。”
伊万看着他。
“你不信我？”
“我信你会把实验室烧了。”
伊万喝了一口酒。
“那你还让我来？”
“因为你能把它做出来。”
研发楼外，韩建国抱着一摞文件跑进来。
“李总，刚收到的电报。”
“说什么？”
“东亚化成停止供应，富士通向邮电部递交了新的投诉，指山河通信使用了未经授权的封装工艺。”
李山河接过电报，看完递给陈守仁。
“他们动作倒快。”
伊万把酒瓶放到桌上。
“日本人要来抢配方？”
“他们会先告我们，再买我们，最后想办法让我们买不到设备。”
“那就把配方卖给他们。”
高桥脸色变了。
“你疯了？”
伊万抬头。
“卖一份给他们，换十份原料。”
李山河看着他。
“山河一号不卖。”
伊万举起酒瓶。
“那就让他们看着我们做第二号。”
